(1)ASML의 반도체 EUV 노광장비 
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(2)반도체의 실리콘 기판에 빛을 쐬어 회로를 새기는 데 사용
(3)제조사 : ASML (네덜란드, 해당 시장 점유율 90% 이상)
(4)생산량: 년간 35~50대
(5)가격: 모델에 따라 1대 당 1,500억~2,000억
(6)2023년 출시 예정인 High-NA EUV 장비는 대 당 5,000억 원 예상
(7)현재 TSMC, 삼성 파운드리와 구매 협의중
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