이미지 텍스트 확인
uimec
Asl |
파운드리업체인 대만 TSMC가 자국 공장에
이미지 텍스트 확인
잇는 EUV 노광장비에 ‘자쪽 장치’틀
설치햇다.
[T전문 매체 ‘tom’s 하드웨어’에 따르면
TSMC는 네덜란드 ASML에서 도입한 철단
반도체 집 제조 장비인 EUV 노광방비에 ‘원격
길 스위치’ 틀 설치한 것으로 알려적다.
EUV 노광장비는 웨이퍼 위에 빛으로 회로틀
새기는 노광공정에 사용되는
세상에서 가장
복잡한 기계로 이 장비는 네덜란드 ASML이I
독점 공급하여 최근 제작트 철단 장비논 대당
가격이 5천억 원을 웃도는 것으로 알려저
있다:
EUV 노광장비는 EUV 광원올 활용한
13.5nm 빛 파장으로 EUV틀 활용하면 기존
193nm의 ArF 보다 웨이퍼에 14배 정도
얇은 회로름 그림 수 있어 7nm 이하
반도체틀 생산하기 위해선 EUV 노광장비가
반드시 필요하다.
근데 미국이 이미 킬스위치 심어두지않았을까 싶기도하고. ㅋㅋㅋ
